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问答题

简答题 二次电子像的衬度和背散射电子像的衬度各有何特点?

【参考答案】

二次电子像的衬度特点:景深大、立体感强、分辨率高;衬度来源于形貌、成分、电压(样品局部电位)、样品中的磁畴(第一类磁衬度),主要反映形貌衬度。
背散射电子像的衬度特点:相对于二次电子像,景深小,立体感不强、分辨率较低。衬度来源于成分、形貌、电压、第二类磁衬度,主要反映原子序数衬度(成分衬度)。