找考题网-背景图
问答题

简答题 离子源使用结束后,机器会自动充入氩气对其冷却,冷却的目的是什么?

【参考答案】

主要目的是快速冷却,由于氩气是不活泼性气体,很难与离子源部件发生氧化。