问答题

简答题在使用扩散泵应注意哪些事项？

【参考答案】

1、冷却水不足，必须关闭扩散泵，否则轻则会造成返油，重则会使扩散泵过热造成扩散泵油烧焦。（机器若有自动保护装置，会自动停止扩散泵加热，并报警）
2、扩散泵必须在低真空阀关闭，预抽阀开启，且系统真空高于真空室真空时才能打开，否则会造成真空室返油。

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