1、冷却水不足，必须关闭扩散泵，否则轻则会造成返油，重则会使扩散泵过热造成扩散泵油烧焦。（机器若有自动保护装置，会自动停止扩散泵加热，并报警） 2、扩散泵必须在低真空阀关闭，预抽阀开启，且系统真空高于真空室真空时才能打开，否则会造成真空室返油。
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问答题从操作角度来看，如何操作和保养才能让一台镀膜机的膜系稳定？
问答题简述在镀膜过程中产生杂质的原因和对策？
判断题镀膜净化间规定每3小时记录一次温湿度。
判断题换电时先关机械泵，再关预阀，后关扩散泵。
