A.直流溅射B.射频溅射C.磁控溅射D.准直溅射
多项选择题铝的电迁移可能导致的结果是（）
A.阳极短路B.阳极断路C.阴极短路D.阴极断路
多项选择题影响显影工艺的因素有（）。
A.曝光度B.显影液浓度C.显影方法D.工序的温度和时间容量
