简答题 简述化学气相沉积原理及其应用。

【参考答案】

（1） 原理：气相元素或化合物被输运到基体（衬底）表面附近，在一定条件下使它们发生化学
反应，并在基体表面发生固相反应成膜；化学反应大致可分为分解反应（热分解）、还原反应、氧化反应、水解反应、聚合反应和输运反应等；使化学反应激活的方法包括加热、高频电压、激光、X射线、等离子体、电......

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