简答题 简述物理气相沉积原理及其应用。

【参考答案】

（1） 原理：利用某种物理过程，如物质的热蒸发或在受到粒子轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质原子从源物质到薄膜的可控转移的过程。
1）镀料的气化；使镀料蒸发、升华或被溅射，也就是通过镀料的气化源。
2）镀料原子、分子或离子在相对较低的气体压力环境的迁移；由气化源供......

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