填空题拉制硅单晶的电阻率范围不同，掺杂剂的形态也不一样，拉制低电阻率10-2～10-3欧姆•厘米的N型硅单晶，一般掺（）。
填空题常用作硅单晶的P型掺杂剂的是（）族元素，主要有（）。
填空题常用作硅单晶的N型掺杂剂的是（）族元素，主要有（）。
填空题拉制一定型号和一定电阻率的单晶，选择适当的（）是很重要的。
填空题用作拉硅单晶原料时，P型多晶硅含硼量小于（）个原子 cm3，P型电阻率大于（）。
