填空题常用作硅单晶的N型掺杂剂的是()族元素,主要有()。
填空题拉制一定型号和一定电阻率的单晶,选择适当的()是很重要的。
填空题用作拉硅单晶原料时,P型多晶硅含硼量小于()个原子 cm3,P型电阻率大于()。
填空题用作拉硅单晶原料时,N型多晶硅含磷量小于()个原子 cm3,N型电阻率大于()。
填空题生长直拉硅单晶用的多晶硅原料时,()作发热体生长的多晶硅处理比较复杂,首先将多晶破碎,然后用砂轮将多晶硅中的钼丝和硅钼合金打磨干净,最后经清洁处理后方能用来拉制硅单晶。