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问答题

简答题 试述离子束加工的基本原理，特点和主要应用？

【参考答案】

离子束加工的基本原理：
离子束加工是在真空条件下，先由电子枪产生电子束，再引入已抽成真空且充满惰性气体之电离室中，使低压惰性气体离子化。由负极引出阳离子又经加速、集束等步骤，最后射入工件表面
离子束工主要特点如下：
1.加工的精度非常高。2.污染少。3.加工应力、热变形...

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