问答题

简答题电子束加工和离子束加工在原理上和应用范围上有何异同？

【参考答案】

离子束加工原理和电子束加工原理基本类似，都是在真空条件下将离子源产生的离子束经过加速聚焦使之撞击到工件表面，不同的是离子带正电荷，其质量比电子大数千数万倍，所以一旦离子加速到较高速度时，离子束比电子束具有更大的撞击动能，它靠微观的机械撞击能力，而不是靠动能转化为热能来加工的。

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