问答题

简答题简述PECVD薄膜沉积的原理。

【参考答案】

薄膜的沉积原理包括三个基本的过程：
1）等离子体反应，是指等离子体通过与具有能量的电子、离子或者基团等粒子碰撞，使通入到反应室中的气体分子分解的过程。其中等离子体包括自由基、原子和分子等中性粒子，以及离子和电子等非中性粒子。
2）输送粒子到基板表面，等离子体产生的粒子以扩散方式或......

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