简答题 例举在线参数测试的4个主要子系统。

【参考答案】

在线参数测试的4个主要子系统为：
（1）探针卡接口：是自动测试仪与待测器件之间的接口。
（2）硅片定位：为测试硅片，首先要确与探针接触的硅片的探针仪位置。
（3）测试仪器：高级集成电路需要能够在测试结构上快速、准确、重复地测量亚微安级电流和微法级电容的自动测试设备，它控......

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