简答题 例举并解释5个进行在线参数测试的理由。

【参考答案】

五个进行在线参数测试的理由为：
（1）鉴别工艺问题：硅片制造过程中工艺问题的早期鉴定（而不是等到已经完成了硅片制造才发现有问题进行测试。
（2）通过/失效标准：依据通过/失效标准决定硅片是否继续后面的制造程序。
（3）数据收集：为了改进工艺，收集硅片数据以评估工艺倾向（......

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