判断题Long through PVD可以提升沉积效率。
判断题较高的深宽比，容易产生空洞。
判断题AlCu合金中Cu的作用是防止电迁移。
判断题AlSi合金中Si的作用是防止结尖刺。
判断题沉膜的厚度与时间呈正比。
