某一层发现未充氧时，要马上暂停运行中的机器，向当班负责人汇报情况。对异常情况进行处理，把没充氧的原因找到并解决。再确认之前的镀膜过程均正常后，手动开启流量计往机器内充氧10分钟左右。再次确认机器无其他异常。开始当前层继续镀膜。
问答题写出更换防污板和上下片过程中的注意事项。
问答题写出镀膜过程应注意哪些参数变化？
问答题如果晶振速率突然不稳你该怎么处理？
问答题如何用简单的方法检验刚换好的氧气或氩气瓶各联结处是否漏气？
问答题机器镀膜结束，没有直接充入大气，而是先冷却，冷却的目的是什么？
