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问答题

简答题 某一TiO2层刚开镀3秒钟，突然发现未充氧，该如何处理？

【参考答案】

某一层发现未充氧时，要马上暂停运行中的机器，向当班负责人汇报情况。对异常情况进行处理，把没充氧的原因找到并解决。再确认之前的镀膜过程均正常后，手动开启流量计往机器内充氧10分钟左右。再次确认机器无其他异常。开始当前层继续镀膜。

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