问答题

简答题目前有哪些纳米加工技术？LIGA技术的原理是什么？

【参考答案】

1）光刻电铸（LIGA）技术；
2）半导体加工技术；
3）集成电路（IC）技术；
4）超微机械加工和电火花线切割加工；
5）键合技术；
6）分子装配技术；
LIGA它的工艺过程为：
①采用深层同步辐射光刻，涂覆光致抗蚀剂，经X射线...

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