简答题 简述离子束加工为什么达到最微细加工

【参考答案】

离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描，共聚焦光斑可达1μm以内，因而可以精确控制尺寸范围。离子束轰击材料是逐层去除原子，所以离子刻蚀可以达到毫微米（0.001μm）级的加工精度。离子镀膜可以控制在亚微米级精度，离子注入的深度和浓度也可极精确地控制。