简答题 简述离子束加工、离子镀膜加工的含义

【参考答案】

离子束加工是利用离子束对材料进行成形或表面改性的加工方法。在真空条件下，将由离子源产生的离子经过电场加速，获得具有一定速度的离子投射到材料表面，产生溅射效应和注入效应。离子束比电子束具有更大的撞击动能，是靠微观的机械撞击能量来加工的。
具有一定动能的离子斜射到工件材料（靶材）表面时，可以将......

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