等离子增强反应沉积中，由于等离子体中（）、（）和（）相互碰撞，可以大大降低沉积温度，例如硅烷和氨气的反应在通常条件下，约在850℃左右反应并沉积氮化硅，但在等离子体增强反应的条件下，只需在350℃左右就可以生成氮化硅。

填空题在MOCVD过程中，金属有机源可以在（）或（）作用下，在较低温度沉积出相应的各种无机材料。

填空题电解槽中的离子导体除常见的电解质溶液外，尚有（）、（）或超临界流体等。

填空题电极过程大致可分为以下三类：（）、气体电极过程和电解氧化还原。

填空题通常所说的电解液按其组成及结构可分为（）和（）两大类。电解质溶液按溶剂不同又分为电解质水溶液和非水电解质溶液。

填空题电化学反应器一般由阴极、阳极、电解质溶液和隔离器组成。当电流通过反应器时，溶液中的离子在电场作用下发生（），电极上则发生（）反应，从而构成电流回路。