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问答题

简答题 试述汽相生长的基本原理。

【参考答案】

近年来信息科学和电子工业有力推动了汽相生长技术的发展,其中单晶薄膜的汽相淀积法和各种外延生长方法进展迅速。汽相生长适宜于生长薄膜、晶须、板状晶体。汽相生长是利用蒸气压较大的材料在适当条件下使其蒸气凝结成为晶体的一种方法。汽相生长的显著特点是有一个将原料以适当途径输运到淀积区的过程。按这种输运方式把汽相生长技术分为两类:物理输运技术和化学输运技术。