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多项选择题

A.g线B.i线C.ArFD.KrFE.EUV根据曝光波长的不同,目前市场上应用较多的光刻胶可分为()。……

根据曝光波长的不同,目前市场上应用较多的光刻胶可分为()。

A.g线
B.i线
C.ArF
D.KrF
E.EUV

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