判断题电子束光刻主要用于制作掩膜。
判断题电子束可以通过磁透镜聚焦，并靠偏转线圈实现小角度的偏转，扩大加工区域。
判断题电子束加工必须在真空条件下进行。
判断题电子束加工去除材料是靠高速运动电子的动能直接去除材料。
判断题电子束不仅可以加工各种直的型孔，而且也可以加工弯孔和曲面。
