问答题在等离子体源离子注入中，当负高压脉冲（幅值V）加到金属靶上时，靶表面附近电子立即被排斥出鞘层区域，由于离子质量大，没有来得及运动，留下一个均匀的离子鞘层，设离子密度为常数n， 并假设在鞘层边界电场和电势为零，求平板、柱形和球形靶鞘层内电场和电势分布，以及鞘层厚度表达式。
问答题由流体运动方程，忽略掉粘性应力项， （1）推导出无磁场时电子、离子在等离子体中的定向速度表达式； （2）忽略温度梯度，证明定向速度为零时，带电粒子遵守波尔兹曼分布。
