共晶粘片优点:(1)电阻小;(2)传热快;(3)可靠性高。共晶粘片缺点:(1)高温粘结易损坏器件;(2)不可返工;(3)高温可能导致基片上的电阻变值。
问答题决定超声键合的工艺一致性和可靠性的工艺参数有哪些?
问答题简述超声键合法的优缺点。