问答题

简答题试简述LIGA技术的原理、特点及主要工艺。

【参考答案】

原理：LIGA技术的机理是由深层X射线光刻、电铸成形及塑注成形三个工艺组成。在用LIGA技术进行光刻过程中，一张预先制作的模板上的图像被映射到一层光刻掩膜上，掩膜中被光照部分的性质发生变化，在随后的冲洗过程被熔解，剩余的掩膜即是待生成的微细结构的负体，在接下来的电镀成形过程中，从电解液中析出的金属填...

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