问答题

简答题叙述MEMS（微型机电系统）的基本特征，目前有哪些微型机械加工技术？

【参考答案】

基本特征：体积小、重量轻、能耗低、性能稳定；有利于大批量生产，降低生产成本；惯性小、谐振频率高、响应时间短；集约高技术成果，附加价值高等。
目前微型机械加工技术主要有基于从半导体集成电路微细加工工艺中发展起来的硅平面加工工艺和体加工工艺，80年代中期以后在LIGA加工、准LIGA加工、超微...

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