填空题采用光电极值法监控膜厚，监控片为K9玻璃（折射率为1.52），如果要镀制单层ZnS薄膜（折射率为2.35），监控的第一个透射率极值点应该是极大值还是极小值：（）。
填空题一般镀膜系统测量真空需要两个真空计：（）真空计和（）真空计。
填空题请写出常用的三种金属镀膜材料：（）、（）、（）。
填空题电子枪的e型枪是指电子束（）。
填空题由于极值点的判读精度不高，因此常常采用（）、（）、（）等措施来提高极值法监控精度。
