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多项选择题

A.电极电位B.腐蚀液的成分C.腐蚀处理的温度和搅拌的影响D.缓冲剂的影响影响半导体单晶电化学腐蚀速度的因素主……

影响半导体单晶电化学腐蚀速度的因素主要有()

A.电极电位
B.腐蚀液的成分
C.腐蚀处理的温度和搅拌的影响
D.缓冲剂的影响