找考题网-背景图
问答题

简答题 简述物理气相沉积法的共同特点?

【参考答案】

(1)需要使用固态的或者熔融态的物质作为沉积过程的源物质
(2)源物质经过物理过程而进入气相
(3)需要相对较低的气体压力环境
(4)在气相中及在衬底表面并不发生化学反应