超精密加工机床的关键部件主要有：（）等。

多项选择题超精密磨削时有（）。

A.微切削作用
B.塑性流动作用
C.弹性破坏作用
D.滑擦作用
E.摩擦作用

多项选择题精密和超精密机床现在常采用的导轨有：（）

A.滚动导轨
B.液体静压导轨
C.气浮导轨
D.空气静压导轨
E.滑动导轨

多项选择题金刚石刀具的固定方法包括（）。

A.机械夹固
B.粉末冶金法固定
C.粘结或钎焊固定
D.镶嵌固定
E.卡套固定

多项选择题超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，不能有爬行。除要求导轨有很高的制造精度外，还要求导轨的材料具有很高的（）。

A.稳定性
B.耐磨性
C.抗振性
D.可靠性
E.气密性

多项选择题微位移系统应用于（）。

A.微进给
B.误差补偿
C.精密调整
D.精加工
E.抛光