激光加工设备主要包括电源、（）、冷却系统等部分。

多项选择题精密研磨、抛光时主要工艺因素有工艺设备、研具、磨粒、加工液、（）。

A.加工参数
B.加工环境
C.加工温度
D.加工时间
E.加工质量

多项选择题实现超精密加工的技术支撑条件主要包括：（）、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。

A.超精密加工机理与工艺方法
B.超精密加工机床设备
C.超精密加工工具
D.测量补偿
E.误差补偿

单项选择题纳米技术是指纳米级（）nm的材料、设计、制造、测量、控制和产品的技术。

A.0.01-10
B.0.1-100
C.1-1000
D.10-10000

单项选择题空气洁净度是按空气中每立方米含直径大于（）μm的尘粒数来分等级。

A.2.5
B.1.5
C.1.0
D.0.5

单项选择题超微细加工主要指（）μm以下的微细尺寸零件，加工精度为0.1-0.01μm的加工。

A.1
B.0.1
C.0.01
D.0.001