微纳图案制备技术中最为适合大规模工业生产的是哪种？（）

多项选择题微纳图案制备过程中所用到的印刷方法包括哪些？（）

A.凸版印刷
B.软刻蚀
C.丝网印刷
D.纳米压印

多项选择题化学气相沉积（CVD）按照反应气压进行分类，可以分为（）。

A.常压化学气相沉积
B.低压化学气相沉积
C.等离子体增强化学气相沉积
D.高压气相沉积

单项选择题以下哪项不是化学气相沉积（CVD）的特点？（）

A.薄膜成分易控
B.温度高
C.均匀性
D.台阶的覆盖性好

多项选择题以下哪些是蒸发沉积的要素？（）

A.真空
B.氧气
C.加热
D.温度较低基片

多项选择题实现应变隔离的方法有哪些？（）

A.整体硬化
B.局部硬化
C.整体软化
D.局部软化