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名词解释

什么是溅射镀膜; 溅射镀膜名词解释定义是什么?

【参考答案】

就是用高能离子轰击固体表面,使高能离子的能量传递给固体的原子,并使它们逸出表面沉积在基片上形成薄膜的方法。