A.置之不理B.按急停按钮，并及时报告C.自行按设备的非急停按键
单项选择题串扰不良在（）画面下检测。
A.Cross TalkB.W-GrayC.L0D.R
单项选择题Module制程设备上通常都有高效过滤器（FFU），其作用是（）。
A.去除设备内静电B.对进入设备内的水进行过滤C.去除设备内异物D.以上均不是
