名词解释

什么是离子束加工; 离子束加工名词解释定义是什么?

【参考答案】

是利用更高能量密度离子速撞击工件表面使工件材料发生微观机械变形、分离、破坏进行加工的，主要用于刻蚀、镀膜、离子注入等方面。

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