A.清洗、衬背及导电化B.钝化、电铸及清洗C.清洗、钝化及导电化
单项选择题以下不属于电子束加工的特点的是（）。
A.能量密度很高B.束斑极小C.有污染
单项选择题离子束刻蚀应用的离子束加工过程中的（）效应。
A.离子注入效应B.溅射效应C.离子沉积效应
