超精密机床导轨部件要求有极高的直线运动精度，不能有爬行。除要求导轨有很高的制造精度外，还要求导轨的材料具有很高的（）。

多项选择题微位移系统应用于（）。

A.微进给
B.误差补偿
C.精密调整
D.精加工
E.抛光

多项选择题实现超精密切削加工对刀具性能的要求是：（）。

A.极高的硬度和耐磨性
B.刃口及其锋利
C.刀刃无缺陷
D.与工件材料的抗粘接性好
E.摩擦系数低

多项选择题超精密加工机床的总体布局形式主要有以下几种：（）等。

A.T形布局
B.十字形布局
C.R-θ布局
D.立式结构布局
E.横式结构布局

多项选择题超精密机床主轴的驱动方式主要有（）。

A.电动机通过带传动驱动
B.电动机通过柔性联轴器驱动
C.采用内装式同轴电动机驱动
D.采用外装式同轴电动机驱动
E.电动机通过刚性联轴器驱动

多项选择题洁净室是指将室内空气中（）的分布形式及其形状等控制在一定范围内的房间。

A.尘埃微粒
B.温度
C.压力
D.流速
E.气流