A、提高离子源功率 B、降低温度 C、降低真空度 D、提高温度
单项选择题电子枪“FIL”灯变红,故障原因是()。
A、电子枪高压线路故障 B、真空室底下门没有关好 C、电子枪灯丝有问题 D、电子枪电流回路故障
单项选择题真空镀膜时真空度范围应在()。
A、低真空 B、中真空 C、高真空 D、超高真空
多项选择题对镀膜材料进行预熔的目的是()。
A、去除材料内部的杂质 B、改变材料的表面形状 C、减少材料的放气 D、提高材料的温度
单项选择题为使蒸发材料分子从蒸发源到达基板时基本不和残余气体分子发生碰撞,故真空室内真空度要到达10-3Pa以下,以满足()条件
A、气体分子平均自由程小于蒸发距离. B、气体分子平均自由程远大于蒸发距离 C、气体分子平均自由程等于蒸发距离。 D、气体分子平均自由程的平方大于蒸发距离。
多项选择题油扩散泵上面加冷阱,其作用是()。
A.防止扩散油分子回流到真空室 B.加快排氣速度 C.防止杂物掉入扩散泵 D.提高膜层附着力