在RIE、等离子体刻蚀、离子铣三种干法刻蚀中，各向异性效果比较（）

多项选择题异质外延制备单晶纳米膜，可采用下列哪种工艺方法（）

A.磁控溅射
B.电子束蒸镀
C.CBE
D.MBE

多项选择题关于ALD下列那种说法正确（）

A.只能生长单组份纳米膜
B.生成膜有良好的台阶覆盖特性
C.可以精确控制膜厚到原子尺度
D.是通过控制前驱体的剂（流）量来精确控制膜厚的

多项选择题流动油面冷凝法说法正确的是（）

A.可以是纯物理方法
B.是液相制备方法
C.是气相制备方法
D.是固相制备方法

多项选择题下列哪些方法属于液相方法（）

A.球磨法
B.沉淀法
C.溶胶凝胶法
D.水热法

单项选择题纳米薄膜按构成与致密程度分类，正确的是（）

A.致密膜和多层膜
B.颗粒膜和多层膜
C.颗粒膜和致密膜
D.结构膜和致密膜