A．等离子气，冷却气，载气 B．冷却气，载气，等离子气 C．冷却气，等离子气，载气
单项选择题ICP仪炬管的外管进（），中管进（），内管进（）。
单项选择题ICP炬管是由石英制成的（）层同心管组成。
A．2 B．3 C．4
