A.溶胶凝胶法制膜反应温度低，均匀性好，化学组分可以精确控制，设备简单，成本低，制备的薄膜致密性好，适合工业生产。B.溶胶是指有胶体颗粒分散悬浮于其中的液体。C.凝胶是指内部成网状结构，网络间隙中含有液体的固体。D.溶胶凝胶法适合制备大面积薄膜。
多项选择题关于液相烧结正确的说法有（）
A.细颗粒有利于液相烧结B.烧结过程中产生的大量液相有利于烧结进行C.提高温度对致密化有利D.固液相间的接触角愈小，对烧结愈有利
多项选择题影响CVD质量的因素有（）
A.沉积温度B.反应气体的比例C.基体材料D.压强
