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多项选择题

材料蒸发时,充氧的主要目的有哪些?()

A、补充材料失去的氧原子,使材料氧化更充分,降低膜层吸收
B、使每次镀膜时,真空室内的真空状态相接近
C、使蒸发更稳定
D、使控制更精确