提出用于半导体蚀刻加工的LIGA法的科学家是来自于（）

单项选择题以下几种加工方法中不属于高能束流加工方式的是（）

A.激光束加工
B.等离子加工
C.电化学加工
D.电子束加工

单项选择题用于超精密研磨与抛光的MRF技术提出的时间约在（）

A.20世纪90年代
B.20世纪80年代
C.19世纪90年代
D.19世纪80年代

单项选择题以下几项中不属于抛光机理的是（）

A.微切削作用
B.化学作用
C.塑性流动作用
D.碰撞作用

单项选择题以下几项中不是精确铸造成形的方法是（）

A.挤压铸造
B.半固态铸造
C.砂型铸造
D.消失模铸造

单项选择题化学机械抛光的英文简称是（）

A.PCM
B.PCN
C.CMP
D.CNP