超精密机床主轴的驱动方式主要有（）。

多项选择题洁净室是指将室内空气中（）的分布形式及其形状等控制在一定范围内的房间。

A.尘埃微粒
B.温度
C.压力
D.流速
E.气流

多项选择题精密与超精密加工按加工方法可以分为（）等大类。

A.切削加工
B.磨削加工
C.研磨加工
D.抛光加工
E.复合加工

多项选择题超精密加工中超稳定的加工环境条件主要指（）方面的条件。

A.恒温
B.恒湿
C.防振
D.超净
E.噪声

多项选择题激光加工设备主要包括电源、（）、冷却系统等部分。

A.激光器
B.光学系统
C.机械系统
D.控制系统
E.加温系统

多项选择题精密研磨、抛光时主要工艺因素有工艺设备、研具、磨粒、加工液、（）。

A.加工参数
B.加工环境
C.加工温度
D.加工时间
E.加工质量