名词解释

什么是LIGA技术工艺过程; LIGA技术工艺过程名词解释定义是什么?

【参考答案】

深层同步辐射X射线光刻把从同步辐射源放射出的具有短波长和很高平行度的X射线作为曝光光源可在最大厚度达500um的光致抗蚀剂上生成曝光图形的三维实体、电铸成形用曝光蚀的图形实体作为电铸用胎膜用点沉积方法在胎膜上沉积金属以形成金属微结构零件、注射将电铸制成的金属微结构作为注射成型的模具即能加工出所需的微...

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