填空题真空泵有（）和（）两大指标。
填空题程序控制阀是由阀体、驱动、（）三部分组成。
填空题有效气体（）是变压吸附装置主要考核指标之一。
填空题活性氧化铝对水有较强的亲和力，是一种对微量水（）用的吸附剂。
填空题物理吸附也称（）吸附，它是由吸附质分子和吸附剂表面分子之间的引力所引起的。
