A.无机械运动部分B.无振动C.无需再生D.无噪音离子溅射泵的特点是什么（）？……

多项选择题属于高真空泵的是哪一种（）？

A.分子泵
B.扩散泵
C.油回转泵
D.低温泵

多项选择题油扩散泵的缺点是什么（）？

A.噪音大
B.需要水冷挡板
C.启动停止需要时间
D.存在油污染

多项选择题检漏仪灵敏度下降的原因有（）。

A.离子源老化
B.分析部污染
C.内漏
D.设定参数不对

多项选择题UTM300B 泵吸气口可提供的法兰规格有哪些（）？

A.VG100
B.ICF152
C.ISO100-K
D.ICF203

多项选择题UTM300B 采用哪种冷却方式（）？

A.水冷
B.自然空冷
C.强制空冷