超精密磨削是指加工精度达到或高于为（）μm、表面粗糙度小于Ra0.025μm的来微米级的加工方法。……

单项选择题精密磨削是指加工精度为（）μm、表面粗糙度Ra0.2-0.025μm的磨削方法。

A.2-0.2
B.1-0.1
C.0.1-0.01
D.0.5-0.05

单项选择题精密和超精密磨料加工可分为固结磨料和（）磨料两大类加工方式。

A.砂带
B.砂布
C.涂覆
D.游离

单项选择题晶体的解理现象是指晶体受到定向的机械力作用时，可以沿平行于某个平面平整地（）的现象。

A.切开
B.分开
C.磨开
D.劈开

单项选择题金刚石晶体在高磨削率方向上，磨削率最低即最不容易磨的晶面是：（）

A.100晶面
B.110晶面
C.101晶面
D.111晶面

填空题光刻加工技术主要是针对集成电路制作中得到（）微细线条所构成的（）微细复杂图形。