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多项选择题

A.电子束微细加工B.聚焦离子束微细加工C.激光束微细加工D.光刻微细加工能量束加工主要形式:()。……

能量束加工主要形式:()。

A.电子束微细加工
B.聚焦离子束微细加工
C.激光束微细加工
D.光刻微细加工

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