（1）使用较多的物质作为蒸发源，尽量减少组元成分的相对变化率 （2）采用向蒸发容器中不断地，但每次仅加入少量被蒸发物质的方法 （3）利用加热不同温度的双蒸发源或多蒸发源的方法，分别控制和调节每个组元的蒸发速率，此方法用得较为普遍 采用真空蒸发法制作预定组成的薄膜，经常采用瞬时蒸发法、双蒸发源法及合金升华法
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